FUJIFILM TC2000™ 只做一件事：让前驱体保持在恒定温度上，使化学品在输往工艺设备的途中蒸气压始终稳定。该控制器归属于富士胶片的 CVD 前驱体化学品输送产品线，同时也用于光伏前驱体设备。在光伏产线上，POCl₃ 等源液从散装容器分装进可再填充石英起泡器，起泡器再置于 TC2000™ 内恒温，从而保证每个使用点的蒸气压一致。

三档温度范围，两种热源

• CH — 冷却/加热，15°C 至 40°C： 采用热电（珀尔贴）元件双向传热，槽体既能升温，也能降到环境温度以下。适用于必须压低温、不能加热的低沸点前驱体。
• H — 仅加热，35°C 至 70°C： 电阻加热，覆盖中温段。
• HH — 超热，55°C 至 90°C： 电阻加热，用于高蒸气压工况。

PID 闭环控制可抑制环境温度、载气流量与安瓿内液位变化对槽温的扰动。设定温度与运行状态由机身 LCD 显示屏呈现。

三种硬件配置

• Classic — 单机： 控制器与电子单元集成在一台台式机组内。
• R — 远程电子： 电子单元与恒温槽分离，可把控制部件装在远离热源的位置。
• RM — 机架式： 面向机柜安装。RM-CH 机型机箱尺寸 435 × 133 × 233 mm，电源 230 V AC、1 A、50/60 Hz。

安瓿装载与补液

• 正面装载： 安瓿从正面装入恒温槽，换料时无需移动整机。
• 预装自动加注： 补液接口出厂即装好，可与上游化学品供应系统联动。
• 安瓿兼容性： 适配大多数行业标准安瓿。石英安瓿与不锈钢安瓿属选配件，需单独订购。
• 容器容量： CVD 产品线适配 1.2 L 容器，光伏产品线适配 1.5 L 石英安瓿。
• 液位监测： 石英安瓿采用红外液位传感，可辨识 6 个液位；不锈钢安瓿采用石英棒，可辨识 4 个液位，默认启用启动位与停止位。

典型应用

• 需要稳定前驱体供给的 CVD 及其他气相沉积工艺
• 光伏电池生产中的 POCl₃ 扩散源
• 半导体前驱体化学品的分装与输送