CAS PUR-Therm 气体输送加热器用于加热关键载气和工艺气体，同时满足行业最严格的纯度标准。它为设备制造商和晶圆厂提供了一种更高效、更准确地加热腔体气体的方式，且不牺牲纯度 。

该加热器采用铸造嵌入元件技术，以更低瓦数提供更多热量，在相同温差下比其他加热器耗能更少。被加热气体隔离在高纯 316L 无缝不锈钢流管中，不会接触加热元件或任何其他加热器部件 。

纯度指标达到或超过行业标准：颗粒测试符合 SEMI F-70 "超高纯"规范；表面粗糙度符合 SEMI F-19 "超高纯"规范，平均 Ra 为 2.53 μin（0.064 μm）；弯曲半径符合 SEMI E49 惰性与反应性气体指南；钝化符合 ASTM-967 规范 。

最高工作温度 300°C（572°F），标准功率 400 W、208V 单相。可更换加热元件配双传感器热电偶，可准确控制工作温度并提供超温保护。管进出口采用行业标准 VCR 接头（经超高纯认证），可与现有系统兼容 。

本体尺寸紧凑，为 3.50"（89 mm）x 3.75"（95 mm）。应用包括载气加热、工艺气体加热，以及用于晶圆干燥的空气和氮气加热。PUR-Therm 无需柔性气体管路加热器那些杂乱的接线和控制机构，可方便地装入气瓶柜或沿气体管路任意位置在线集成 。